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產品詳情
  • 產品名稱:高精度測量顯微鏡

  • 產品型號:三豐MF/MF-U系列
  • 產品廠商:日本三豐
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
★自動化且精度較高的測量顯微鏡(*小顯示分辨力0.01um)。 ★主機的前臺操作設計是基于UD( 通用化設計)的理念。 ★配備三軸電動前置控制手柄,這使傳統的顯微鏡操作有了全新的變化,即使在快速運動的過程中也能進行精細定位。 ★用戶可選擇傳統的顯微鏡光學管路或帶內置激光自動對焦功能的光學管路,其觀察方法多種多樣,提高了測量工作的效率。 ★行程為250×150mm 的大工作臺可為大工件的測量提供足夠的空間。 ★使用超高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數頭。 ★暢銷的數據處理裝置QM-Data200 和Vision Unit可結合使用,提供有效且穩定的測量環境。 ★晶片夾持器(可用于小于8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測量的需求。 ★電動轉塔型擁有回縮功能,該功能在更換物鏡時啟動工作。
詳情介紹:

高精度測量顯微鏡MF/MF-U系列產品技術參數:


 

型號

HyperMF-B2515B

HyperMF-UB2515B

HyperMF-UD2515B

HyperMF-UE2515B

HyperMF-UF2515B

貨號

176-430*1

176-431*1

176-432*1

176-433*1

176-434*1

光路

 

有限校正光學系統

無限校正光學系統
BF(亮視場)

無限校正光學系統
BD(亮/暗視場)

無限校正光學系統
BF(亮視場)帶LAF功能

無限校正光學系統
BF(亮/暗視場)帶LAF功能

標準分劃板(內置)

90o點劃線十字線(線寬5μm)

可調瞳距

西登托夫型調節范圍:51-76mm

光路切換比

觀察/TV顯微攝影=50/50

垂直傾斜度

25o

傾斜

TV端口

作為標準配置提供

觀察圖像

正像

目鏡

放大倍率

10X, 15X, 20X

物鏡(可選)

 

可選單筒目鏡(配有一個目鏡)
或雙筒目鏡(配有兩個目鏡)

配備兩個10X目鏡

ML系列物鏡

1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X

BF(亮視場)

M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo

BD(亮/暗視場)

BD Plan Apo, BD Plan Apo SL

轉塔(可選)

BF(亮視場)

(配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器*2)

BD(亮/暗視場)

(配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器*3)

聚焦部分

工件高度

可達150mm

測量精度

(1.5+0.01L) μm L:測量長度(mm)

驅動方式

使用控制手柄進行電動控制

照明裝置

透射照明裝置

遠心光學系統,內置孔徑光闌,鹵素燈泡(12V,50W),100級光強度可調,光纖冷光照明

反射照明裝置

科勒照明,可變孔徑光闌機制,鹵素燈泡(12V,100W),100級光強度可調,光纖冷光照明

工作臺

測量范圍(XxY)

250×150mm

測量精度*4(X和Y軸無負載)

(0.9+0.003L) μm L:測量長度(mm)

工作臺臺面尺寸

460×350mm

載物玻璃有效尺寸

300×200mm

旋轉角度

±3o

承重

30kg

驅動方式

使用手柄進行電動控制

檢測器

高精度光柵尺(磚利)

數顯

分辨力

0.01μm

顯示軸

X, Y, Z

數據處理裝置

QM-DATA200或Vision Unit

操作部分

手柄急停按鈕

可用

精細間距

可用

數據輸出

可用

數字顯示復位

可用

照明光強度控制

可用

LAF(只對焦)

可用

LAF(跟蹤對焦)

可用

轉塔控制

可用 (安裝電動轉塔時)

重量

顯微鏡主機

約250kg

約255kg

電源裝置

14kg

電源

100 - 240V AC, 50/60 Hz *大功耗:700W

 

 

 

 

 

產品特點


★MF-U 系列的電動型。X、Y 和 Z 軸均為電動控制,工作臺可由控制手柄進行操作。
★Vision Unit (選件) 能使影像自動對焦。
★照明裝置(反射/透射) 可選用高亮度LED 燈泡或鹵素燈泡(必選)。
★利用可變孔徑光闌(反射/透射) 可進行無衍射觀察測量。
★標準測量顯微鏡,配有種類繁多的可選附件,包括各種CCD 數碼相機。
★使用經過驗證的FS 光學系列高NA 物鏡(長工作距離型)。
★金相顯微鏡和測量顯微鏡的功能相結合,提供了高分辨力觀察和高精度測量的方案。
★高倍放大目鏡,觀察倍數高達4000X。
★MF-UE/UF 能夠進行激光自動對焦。標準激光自動對焦功能還帶有追蹤功能,即使在工作臺移動時,也能保持對焦。

 

 

BF(亮視場)

型號

MF-UG2017D

MF-UG3017D

MF-UG4020D

MF-UE2017D

MF-UE3017D

MF-UE4020D

貨號

176-784*1

176-785*1

176-786*1

176-790*1

176-791*1

176-792*1

BD(亮/暗視場)

型號

MF-UH2017D

MF-UH3017D

MF-UH4020D

MF-UF2017D

MF-UF3017D

MF-UF4020D

貨號

176-787*1

176-788*1

176-789*1

176-793*1

176-794*1

176-795*1

觀察圖像

BF(亮視場),DF(暗視場) (僅MF-UC和MF-UD型),偏光,微分干涉對比(DIC)/正像

目鏡

屈光度調節

10X(標準選件) (視場數:24),15X,20X

物鏡(可選)

BF(亮視場)

M Plan Apo, M Plan Apo HR, M Plan Apo SL, G Plan Apo (所有鏡頭)

BD(亮/暗視場)

BD Plan Apo, D Plan Apo HR, BD plan Apo SL (所有鏡頭)

照明裝置(二選一)

LED照明裝置

透射照明:遠心光學系統,內置孔徑光闌,白色LED光源,無極亮度調節,冷卻風扇
反射照明:科勒照明,可調孔徑光闌,白色LED光源,無極光強度調節
控制裝置:電源ON/ OFF開關(主開關),100 - 240V AC電源輸入連接器

鹵素照明裝置

透射照明:遠心光學系統,內置孔徑光闌,鹵素燈泡(12V, 50W),無極亮度調節,冷卻風扇
反射照明:BF/ BD柯勒照明與可調孔徑光闌,12V100W或12V15W鹵素燈泡(可選),外部光纖照明,無級亮度調節
控制裝置:電源ON/ OFF開關(主開關),100 - 240V AC電源輸入連接器

影像AF*2

激光AF*2

XY軸

測量范圍

200×170mm

300×170mm

400×200mm

200×170mm

300×170mm

400×200mm

Z軸

測量范圍

220mm

測量精度*3

(X和Y軸無負載)

(2.2+0.02L) μm L:測量長度(mm)

數顯計數器

分辨力

1/0.5/0.1μm 可切換

 

型號

MF-G2017D

MF-G3017D

MF-G4020D

貨號

176-781*1

176-782*1

176-783*1

觀察圖像

BF(明視場)/正像

目鏡

屈光度調節

10X(視場數24),15X,20X
注:單目筒鏡:1個10X目鏡(標配),雙目筒鏡:2個10X目鏡(標配)

物鏡

 

ML系列3X物鏡(標配), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

照明裝置(二選一)

LED照明裝置

透射照明:遠心光學系統,內置孔徑光闌,白色LED光源,無極亮度調節,冷卻風扇
反射照明:科勒照明,可調孔徑光闌,白色LED光源,無極亮度調節
控制裝置:電源ON/ OFF開關(主開關),100 - 240V AC電源輸入連接器

鹵素照明裝置

透射照明:遠心光學系統,內置孔徑光圈,鹵素燈泡(12V, 50W),無極亮度調節,冷卻風扇
反射照明:科勒照明,可調孔徑光圈,鹵素燈泡(12V, 50W),無極亮度調節,冷卻風扇
控制裝置:電源ON/ OFF開關(主開關),100 - 240V AC電源輸入連接器

影像AF*2

?

XY軸

測量范圍

200×170mm

300×170mm

400×200mm

Z軸

測量范圍

220mm

測量精度*3

(X和Y軸無負載)

(2.2+0.02L) μm L:測量長度(mm)

數顯計數器

分辨力

1/0.5/0.1μm 可切換

 









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