高精度測量顯微鏡MF/MF-U系列產(chǎn)品技術參數(shù):
型號 |
HyperMF-B2515B |
HyperMF-UB2515B |
HyperMF-UD2515B |
HyperMF-UE2515B |
HyperMF-UF2515B |
|
貨號 |
176-430*1 |
176-431*1 |
176-432*1 |
176-433*1 |
176-434*1 |
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光路 |
|
有限校正光學系統(tǒng) |
無限校正光學系統(tǒng) |
無限校正光學系統(tǒng) |
無限校正光學系統(tǒng) |
無限校正光學系統(tǒng) |
標準分劃板(內(nèi)置) |
90o點劃線十字線(線寬5μm) |
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可調(diào)瞳距 |
西登托夫型調(diào)節(jié)范圍:51-76mm |
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光路切換比 |
觀察/TV顯微攝影=50/50 |
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垂直傾斜度 |
25o |
傾斜 |
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TV端口 |
作為標準配置提供 |
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觀察圖像 |
正像 |
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目鏡 |
放大倍率 |
10X, 15X, 20X |
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物鏡(可選) |
|
可選單筒目鏡(配有一個目鏡) |
配備兩個10X目鏡 |
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ML系列物鏡 |
1X,3X,5X,10X,20X, 50X,100X |
— |
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BF(亮視場) |
— |
M Plan Apo, M plan Apo SL, G plan Apo |
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BD(亮/暗視場) |
— |
BD Plan Apo, BD Plan Apo SL |
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轉(zhuǎn)塔(可選) |
BF(亮視場) |
— |
(配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器*2) |
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BD(亮/暗視場) |
— |
(配有四孔手動傳感器/電動五孔傳感器*3) |
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聚焦部分 |
工件高度 |
可達150mm |
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測量精度 |
(1.5+0.01L) μm L:測量長度(mm) |
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驅(qū)動方式 |
使用控制手柄進行電動控制 |
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照明裝置 |
透射照明裝置 |
遠心光學系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,鹵素燈泡(12V,50W),100級光強度可調(diào),光纖冷光照明 |
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反射照明裝置 |
科勒照明,可變孔徑光闌機制,鹵素燈泡(12V,100W),100級光強度可調(diào),光纖冷光照明 |
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工作臺 |
測量范圍(XxY) |
250×150mm |
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測量精度*4(X和Y軸無負載) |
(0.9+0.003L) μm L:測量長度(mm) |
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工作臺臺面尺寸 |
460×350mm |
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載物玻璃有效尺寸 |
300×200mm |
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旋轉(zhuǎn)角度 |
±3o |
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承重 |
30kg |
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驅(qū)動方式 |
使用手柄進行電動控制 |
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檢測器 |
高精度光柵尺(磚利) |
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數(shù)顯 |
分辨力 |
0.01μm |
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顯示軸 |
X, Y, Z |
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數(shù)據(jù)處理裝置 |
QM-DATA200或Vision Unit |
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操作部分 |
手柄急停按鈕 |
可用 |
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精細間距 |
可用 |
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數(shù)據(jù)輸出 |
可用 |
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數(shù)字顯示復位 |
可用 |
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照明光強度控制 |
可用 |
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LAF(只對焦) |
— |
— |
可用 |
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LAF(跟蹤對焦) |
— |
— |
可用 |
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轉(zhuǎn)塔控制 |
— |
可用 (安裝電動轉(zhuǎn)塔時) |
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重量 |
顯微鏡主機 |
約250kg |
約255kg |
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電源裝置 |
14kg |
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電源 |
100 - 240V AC, 50/60 Hz *大功耗:700W |
產(chǎn)品特點 |
★MF-U 系列的電動型。X、Y 和 Z 軸均為電動控制,工作臺可由控制手柄進行操作。 |
BF(亮視場) |
型號 |
MF-UG2017D |
MF-UG3017D |
MF-UG4020D |
MF-UE2017D |
MF-UE3017D |
MF-UE4020D |
貨號 |
176-784*1 |
176-785*1 |
176-786*1 |
176-790*1 |
176-791*1 |
176-792*1 |
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BD(亮/暗視場) |
型號 |
MF-UH2017D |
MF-UH3017D |
MF-UH4020D |
MF-UF2017D |
MF-UF3017D |
MF-UF4020D |
貨號 |
176-787*1 |
176-788*1 |
176-789*1 |
176-793*1 |
176-794*1 |
176-795*1 |
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觀察圖像 |
BF(亮視場),DF(暗視場) (僅MF-UC和MF-UD型),偏光,微分干涉對比(DIC)/正像 |
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目鏡 |
屈光度調(diào)節(jié) |
10X(標準選件) (視場數(shù):24),15X,20X |
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物鏡(可選) |
BF(亮視場) |
M Plan Apo, M Plan Apo HR, M Plan Apo SL, G Plan Apo (所有鏡頭) |
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BD(亮/暗視場) |
BD Plan Apo, D Plan Apo HR, BD plan Apo SL (所有鏡頭) |
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照明裝置(二選一) |
LED照明裝置 |
透射照明:遠心光學系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,白色LED光源,無極亮度調(diào)節(jié),冷卻風扇 |
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鹵素照明裝置 |
透射照明:遠心光學系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,鹵素燈泡(12V, 50W),無極亮度調(diào)節(jié),冷卻風扇 |
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影像AF*2 |
√ |
√ |
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激光AF*2 |
一 |
√ |
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XY軸 |
測量范圍 |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
Z軸 |
測量范圍 |
220mm |
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測量精度*3 |
(X和Y軸無負載) |
(2.2+0.02L) μm L:測量長度(mm) |
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數(shù)顯計數(shù)器 |
分辨力 |
1/0.5/0.1μm 可切換 |
型號 |
MF-G2017D |
MF-G3017D |
MF-G4020D |
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貨號 |
176-781*1 |
176-782*1 |
176-783*1 |
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觀察圖像 |
BF(明視場)/正像 |
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目鏡 |
屈光度調(diào)節(jié) |
10X(視場數(shù)24),15X,20X |
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物鏡 |
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ML系列3X物鏡(標配), 1X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X |
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照明裝置(二選一) |
LED照明裝置 |
透射照明:遠心光學系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光闌,白色LED光源,無極亮度調(diào)節(jié),冷卻風扇 |
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鹵素照明裝置 |
透射照明:遠心光學系統(tǒng),內(nèi)置孔徑光圈,鹵素燈泡(12V, 50W),無極亮度調(diào)節(jié),冷卻風扇 |
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影像AF*2 |
? |
|||
XY軸 |
測量范圍 |
200×170mm |
300×170mm |
400×200mm |
Z軸 |
測量范圍 |
220mm |
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測量精度*3 |
(X和Y軸無負載) |
(2.2+0.02L) μm L:測量長度(mm) |
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數(shù)顯計數(shù)器 |
分辨力 |
1/0.5/0.1μm 可切換 |